在半導體、集成電路等微電子工業中，氣體扮演著不可或缺的角色，其中除了大家熟知的一些大宗氣體以外，就是通過超高純電子特氣系統參與制程各工序的特種氣體，其中有一個重要的組成部分：電子混合氣體。通俗的講，就是由幾種氣體組成的氣體混合物。電子混合氣定義及應用氣體混合物是指又兩種或者兩種以上的純氣體、根據使用的要求并按一定比例配制而成的混合氣，來滿足使用需求，有二元或者多元混合氣，其品種之多，可達數千種。電子特種氣體，除可直接通過超高純電子特氣系統管道供氣作為半導體源：如硅源、硼源、磷源和化學氣相沉積（CVD）源等以外。便是通過特氣系統輸送到混合配比器中生成電子混合氣體。電子混合氣體廣泛用于大規模集成電路（L.S.I）、超大規模集成電路（V.L.S.I）和半導體電子器件生產中，主要用于氣相外延（生成）、化學氣相淀積、摻雜（雜質擴散）、離子注入和潔凈吹掃等工藝中。電子混合氣分類：根據不同用途又可以將電子混合氣體分為：晶體生長氣、熱氧化氣、外延氣、摻雜氣、擴散氣、化學氣相淀積氣、噴射氣、離子注入氣、等離子蝕刻氣、載氣/吹洗氣、光刻氣、退火氣、焊接氣、燒結氣和平衡氣等。以上，便是關于半導體超高純電子特氣系統中，關于電子混合氣的定義、分類和應用領域的簡單介紹，感謝您的閱讀！